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帝京半导体科技请求半导体加工蚀刻设备双门传输阀专利可以大幅下降颗粒残留

  国家知识产权局信息数据显现,帝京半导体科技(姑苏)有限公司请求一项名为“一种半导体加工蚀刻设备的双门传输阀”的专利,公开号CN121206241A,请求日期为2025年11月。

  专利摘要显现,一种半导体加工蚀刻设备的双门传输阀,归于半导体传输阀技术领域,未处理密封件与触摸面冲突发生的细小粉尘,长期运用简单导致粉尘颗粒堆集在密封的触摸面上,会加快磨损,一起粉尘颗粒会飘入到阀体内腔或传输通道中,污染半导体件外表,会影响产品良率的问题,创造包含主体阀和安装在主体阀下方中部的驱动座,本创造可经过定向吹气以及定向吸气的两层办法,可以大幅度下降颗粒残留,从颗粒发生的源头削减污染,保证除尘的作用,提高半导体产品良率,一起能让惰性气体的氮气在贴合槽的内标明上进行打扫,来保证贴合槽内的整齐与润滑,保证半导体传输进程一直处于高真空、高洁净的环境中,保证传输稳定性与一致性。

  天眼查资料显现,帝京半导体科技(姑苏)有限公司,成立于2017年,坐落姑苏市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本2850.259114万人民币。经过天眼查大数据分析,帝京半导体科技(姑苏)有限公司共对外出资了4家企业,参加招投标项目8次,产业线条,此外企业还具有行政许可9个。

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