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元夫半导体请求晶圆夹持设备和晶圆传输设备专利完成了晶圆夹持设备在非运动方向均可调

  国家知识产权局信息数据显现,江苏元夫半导体科技有限公司请求一项名为“晶圆夹持设备和晶圆传输设备”的专利,公开号CN121237722A,请求日期为2024年6月。

  专利摘要显现,本发明公开了一种晶圆夹持设备和晶圆传输设备,所述晶圆夹持设备包含:与榜首悬臂的一端相连的调理组件,包含:榜首调理板,具有榜首板和第二板,榜首板与榜首悬臂绕X轴的相对偏转视点可调理;第二调理板,具有第三板和第四板,第四板与第二板绕Y轴的相对偏转视点可调理;基座,与第二调理板绕Z轴的相对偏转视点可调理;夹持组件包含两个夹持件,每个夹持件均具有夹持端和活动端,夹持端距离开设置;驱动组件,与活动端相连;Y轴沿夹持端的距离方向设置,Z轴沿竖直方向设置,X轴、Y轴和Z轴两两彼此笔直设置。依据本发明的晶圆夹持设备,提升了晶圆夹持设备在三维空间内每个方向上的独立调理才能,完成了晶圆夹持设备在非运动方向均可调。

  天眼查资料显现,江苏元夫半导体科技有限公司,成立于2020年,坐落无锡市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1500万人民币。经过天眼查大数据分析,江苏元夫半导体科技有限公司共对外出资了1家企业,参加招投标项目5次,产业线条,此外企业还具有行政许可21个。

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