
来源:爱游戏平台游戏 发布时间:2026-01-08 01:06:31
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国家知识产权局信息数据显现,合肥晶合集成电路股份有限公司请求一项名为“鳍式场效应晶体管及其构成办法”的专利,公开号CN121284994A,请求日期为2025年12月。
专利摘要显现,本发明供给一种鳍式场效应晶体管及其构成办法,在外延层内构成榜首开口,以构成台阶型外延层;持续刻蚀台阶型外延层,榜首开口延伸至衬底内,并在外延层内构成第二开口;在榜首开口内构成榜首浅沟槽阻隔结构,且榜首浅沟槽阻隔结构的顶外表与第二开口的底壁齐平;刻蚀第二开口底部的外延层,以使第二开口延伸至衬底内,剩下的外延层构成鳍。本发明意想不到的作用是,经过刻蚀工艺构成高度不同的台阶型外延层,持续刻蚀外延层构成深度不同的榜首开口和第二开口,在榜首开口内构成与第二开口底壁齐平的榜首浅沟槽阻隔结构,再持续刻蚀第二开口到衬底中,以构成鳍,因为榜首浅沟槽阻隔结构的支撑,避免了鳍构成过程中坍毁的问题。
天眼查资料显现,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,坐落合肥市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200613.5157万人民币。经过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外出资了10家企业,参加招投标项目634次,产业线条,此外企业还具有行政许可22个。
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