爱游戏平台游戏:北大等请求堆叠晶体管的制备办法等专利 供给堆叠晶体管相关制备办法及设备

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  金融界2025年8月13日音讯，国家知识产权局信息数据显现，北京大学;北京知识产权运营办理有限公司请求一项名为“堆叠晶体管的制备办法、堆叠晶体管、器材及电子设备”的专利，公开号CN120475763A，请求日期为2025年04月。

  专利摘要显现，本请求供给一种堆叠晶体管的制备办法、堆叠晶体管、器材及电子设备，该办法有：在衬底上构成正面有源结构和反面有源结构；根据正面有源结构构成正面前道器材层；倒片并减薄衬底；根据反面有源结构构成反面前道器材层；构成榜首直连通孔；榜首直连通孔与正面栅极结构电衔接；在反面前道器材层上构成反面后道互连层；反面后道互连层中的榜首类型电源轨与榜首直连通孔电衔接；榜首类型电源轨与反面源漏结构电衔接；对反面晶体管地点的晶圆进行倒片；构成第二直连通孔；第二直连通孔与反面栅极结构电衔接；在正面前道器材层上构成正面后道互连层；正面后道互连层中的第二类型电源轨与第二直连通孔电衔接；第二类型电源轨与正面源漏结构电衔接。